檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="數位光罩微影系統"
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傳統的印刷電路板(printed circuit board, PCB)微影製程中,主要以具有光罩的鄰近式(proximity)或接觸式(contact)的曝光方式在光阻上進行曝光製程。然而,製作光…