簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="數位光罩微影系統"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    點陣列式微影系統中光學模組與動態掃描曝光模式之設計開發
    • /103/ 碩士
    • 研究生: 黃一峻 指導教授: 郭鴻飛
    • 傳統的印刷電路板(printed circuit board, PCB)微影製程中,主要以具有光罩的鄰近式(proximity)或接觸式(contact)的曝光方式在光阻上進行曝光製程。然而,製作光…
    • 點閱:542下載:56
    1